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    產品名稱:
    RTP-1200快速退火爐

    產品概要: 韓國Ecopia公司生產,最大樣品尺寸:15mm X 20mm。RTP-1200特點:使用單相電,普通照明電即可使用;風冷設計、無須采購冷水機;真空退火,可以使用氫氮混合氣(<10%比例氫氣)。
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    產品編號
    11
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    參數

    RTP-1200小型快速退火爐(RTP/RTA)為韓國進口的快速退火爐。
    該儀器:尺寸小巧,使用風冷、無須水冷,電流要求不高(3安培),性價比高,使用方便,非常適合科研院所的科研使用。

    技術規格:
      - 加熱方式:紅外鹵素燈,600W;
      - 紅外燈數量:4支;
      - 最快升溫速率:100℃/秒;
      - 最快降溫速率:50秒(1000℃ → 400℃);
      - 最高溫度:1200℃;
      - 溫度精度:+/-0.3℃
      - 最大樣品尺寸:15 x 20mm;
      - 退火環境:真空、惰性氣體、空氣、其他工藝氣氛(如氧氣、氫氮混合氣等);
      - 真空泵及極限壓力:機械泵,10-3Torr水平(選配);
      - 電壓:220 V,單相;
      - 儀器尺寸:400*300*450mm (W*D*H);
      - 質量:凈重30Kg;

     

    儀器特點:

    • 可在真空/不同氣氛/空氣不同環境下,對樣品進行快速熱處理;
    • 溫控精度高;
    • 無須配置冷水機;
    • 無須使用三相電,普通實驗室單相電即可使用;
    • 緊湊的臺式設計;
    • 儀器操作方便,樣片裝取容易;
    • 適合高?;蜓芯克蒲惺褂?;
    • 價格合理,高性價比;
    •  

    應用領域:

    • 快速熱退火 (Rapid Thermal Annealing, RTA);
    • 快速熱氧化 (Rapid Thermal Oxidation, RTO);
    • 快速熱氮化 (Rapid Thermal Nitridation, RTN);
    • 硅化 (Silicidation);
    • 擴散 (Diffusion);
    • 化合物半導體退火 (Compound Semiconductor Annealing);
    • 離子注入后退火 (Implant Annealing);
    • 電極合金化 (Contact Alloying);
    • 晶體化和致密化 (Crystallization and Densification);
    • 合金熔點分析;
    • 薄膜沉積;
    • 等等…

     

    參考用戶:
    北京大學、南京大學、吉林大學、湖南大學、廣西大學、齊齊哈爾大學、西北大學、中科院北京納米所、中科院蘇州納米所、蘇州EST等。

    關鍵詞:
    快速退火爐;
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