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    產品名稱:
    RTP-150快速退火爐

    產品概要: 德國優尼坦公司生產,最大樣品尺寸:6英寸晶圓或者156mm x 156mm尺寸樣品,RTP-150可以支持惰性氣體保護、低真空或高真空快速熱處理。
    零售價
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    市場價
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    產品編號
    17
    數量
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    參數

    RTP-150快速退火爐為德國優尼坦公司生產,最快升溫速度:150攝氏度每秒,可以用于最大6英寸晶圓或者156mm x 156mm尺寸樣品熱處理。RTP-150可以支持惰性氣體保護、低真空或高真空熱處理。

     

    技術規格:
    - 最高溫度:1000攝氏度,或1200攝氏度(選配);
    - 升溫速率:75攝氏度/秒,或150攝氏度/秒(選配);
    - 降溫速度:200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度);
    - 溫控均勻性:≤ 1.5%設定溫度;
    - 加熱方式:紅外鹵素燈,頂部及底部加熱;
    - 燈管數量及功率:24支/21千瓦;
    - 腔體冷卻:水冷方式;
    - 襯底冷卻:氮氣吹掃;
    - 工藝氣路:MFC控制,最多4路 (氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等);
    - 主機尺寸及重量:505mm x 504mm x 420mm (W x D x H),約55Kg;


     
    儀器特點:
    - 快速退火爐,有惰性氣體保護、低真空型號(10-3 hPa)、高真空型號(10-6 hPa)等多個配置;
    - 可在不同氣氛環境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等;
    - 控制方式:SIMATIC, SPS人機界面控制,7英寸觸摸屏;
    - 可存儲50個程序,每個程序最多分為50段控制;
    - 全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空度、循環水均可自動設置;
    - 優異的溫控均勻性,極佳的工藝重現性;
    - 臺式設計;


     
    應用領域:
    - 離子注入/接觸退火;
    - 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
    - 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環境下使用;
    - SiAu, SiAl, SiMo合金化;
    - 低介電材料;
    - 晶體化,致密化;
    - 太陽能電池片鍵合;
    等等...

     

    參考客戶:
    西安交通大學、西安電子科技大學、中國科技大學、江漢大學、中科院上海技術物理所、中科院蘇州納米所、北京航天儀器研究所、京東方、武漢光迅、能華微電子等。

    關鍵詞:
    快速退火爐
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