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    產品名稱:
    VPO-300快速退火爐

    產品概要: 德國優尼坦公司生產,最大樣品尺寸:12英寸晶圓或300mm x 300mm尺寸樣品,VPO-300支持惰性氣體保護、低真空、或高真空快速熱處理。
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    產品編號
    19
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    參數

    快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備??焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環境下使用。VPO-300是一款很有特點的快速退火爐,有非常大的退火空間,適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。
     


    儀器特點:
      -  快速熱處理、快速熱退火  RTP / RTA;
      -  可在真空、甚至于高真空環境使用;
      -  加熱區域尺寸:300毫米 X 300毫米;
      -  廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝,如156mm x 156mm電池片,300mm x 300mm電池片等;


     
    參考用戶:
    中科院上海技術物理所,中國電子科技集團41所,中鋁集團,西安炬光等;

    關鍵詞:
    快速退火爐,RTP,快速熱處理爐,
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