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    產品名稱:
    電阻式熱蒸發鍍膜機

    產品概要: VS5電阻式熱蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。 通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發鍍膜,熱蒸發鍍膜技術是歷史最悠久的PVD鍍膜技術之一。熱蒸發鍍膜機一般主要用于蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發鍍膜設備的示意圖。
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    60
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    參數

    VS5電阻式熱蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。
    通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發鍍膜,熱蒸發鍍膜技術是歷史最悠久的PVD鍍膜技術之一。熱蒸發鍍膜機一般主要用于蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發鍍膜設備的示意圖。

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    技術規格:
    - 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
    - 基底旋轉:0~10rpm;
    - 熱蒸發源:電阻式熱蒸發舟,交流電源;
    - 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;
    - 泵:前級干泵,分子泵;
    - Load Lock樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);
    - 工藝控制:PC/PLC機制的自動控制、數據處理、遠程支持;
    - 原位監控:石英晶振監測(QCM),光學監測,殘余氣體分析,其他原位監測技術或控制;
    - 襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;
    - 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉等;

     

    參考用戶:
    清華大學、廣東工大、深圳大學、蘭州理工大學等。

    關鍵詞:
    熱蒸發鍍膜機;熱蒸發臺;蒸鍍設備;
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