• 載德
    產品
    /
    /
    /
    電子束蒸發鍍膜機

    產品分類

    PRODUCT CATEGORIES

    聯系我們

    CONTACT US
    電話:021-65342985
    郵箱:info@cross-tech.com.cn
    地址:上海楊浦區松花江路251弄白玉蘭環保廣場7號樓602室

     

    瀏覽量:
    1000

    產品名稱:
    電子束蒸發鍍膜機

    產品概要: 電子束蒸發系統是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜??烧舭l很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。
    零售價
    0.0
    市場價
    0.0
    瀏覽量:
    1000
    產品編號
    55
    數量
    -
    +
    庫存:
    0
    產品展示
    參數

    電子束蒸發系統是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜??烧舭l很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。

     

    技術規格:
    - 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
    - 基底旋轉:0~10rpm;
    - 電子束源:Telemark電子束源,單袋或多袋電子束源可選;
    - 熱蒸發源:最多配置2套熱蒸發舟(選配);
    - 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;
    - 泵:前級干泵,分子泵;
    - Load Lock樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);
    - 工藝控制:PC/PLC機制的自動控制、數據處理、遠程支持;
    - 原位監控:石英晶振監測(QCM),光學監測,殘余氣體分析,其他原位監測技術或控制;
    - 襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;
    - 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉等;

     

    參考用戶:
    清華大學、廈門大學、華中科大、廣東工大、深圳大學、蘭州理工大學、重慶石墨烯研究院等。

    關鍵詞:
    電子束蒸發鍍膜機;電子束鍍膜機;
    掃二維碼用手機看
    未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

    相關產品

    上一頁
    1

    相關文件

    上一頁
    1

    載德

    總機:021-65342985  客服熱線:021-65342985
    周一至周日 8:00-20:30

    地址:上海楊浦區松花江路251弄白玉蘭環保廣場7號樓602室

    郵箱:info@cross-tech.com.cn   滬ICP備2020028701號-1

    Copyright ? 2020 載德半導體   網站建設:中企動力  上海

    二維碼

       手機端

    二維碼
    返回頂部
    搜索
    搜索

    在線詢價

    產品信息

    產品編號
    縮略圖
    產品名稱
    零售價
    期望單價
    * 預購數量
    操作
    產品編號: 55
    $formItem.imageUrl
    電子束蒸發鍍膜機
    零售價: 0.0
    * 期望單價
    * 預購數量
    -+
    移除

    聯系信息

    基本信息
    聯系方式與職位
    企業信息
    Verification Code

    添加產品 X

    產品分類:
    全部產品
    已選 0
    起碰97人妻免费视频_中文字幕无码专区人妻系列_日韩免费高清无码一级片_久久精品亚洲无中文东京热